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產品名稱： |
mda-400紫外(wai)光刻機 |
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產品介紹： |
品牌：韓國(guo)MIDAS
型號：MDA-400M
產地：韓國(guo)
價格(ge)：面議(yi)
產品(pin)描述：
又名(ming)：掩模對準曝光機(ji)(ji)，曝光系統，光刻系統，光刻機(ji)(ji)，紫外曝光機(ji)(ji)等；
MIDAS為(wei)全球領先的(de)半(ban)導體設備(bei)(bei)供應商(shang)，多年來致(zhi)力(li)于掩(yan)模對準光刻機和(he)勻膠機研發與(yu)生產，并且廣(guang)泛(fan)應用(yong)于半(ban)導體、微電子、生物器件(jian)和(he)納米科技領域；該公司是目前世界(jie)上(shang)最早將光刻機商(shang)品(pin)化(hua)的(de)公司之一，擁有雄厚的(de)技術研發力(li)量(liang)和(he)設備(bei)(bei)生產能力(li)；并且其設備(bei)(bei)被眾多著名企業(ye)、研發中(zhong)心、研究所和(he)高校所采(cai)用(yong)；以優秀的(de)技術、精湛的(de)工藝和(he)良好的(de)服務，贏(ying)得了(le)用(yong)戶的(de)青(qing)睞。
此型(xing)號光(guang)刻機是所有進(jin)口設(she)備中性能(neng)價格比最高的型(xing)號，達到歐(ou)美品牌的對(dui)準(zhun)精(jing)度，CCD顯示屏對(dui)準(zhun)更為(wei)方便，液晶觸摸屏操(cao)作(zuo)，采(cai)用(yong)歐(ou)司朗紫外(wai)燈(deng)，壽命長。整機效果皮實耐用(yong)。
主要特點：
- 光(guang)源強度可控；
- 紫(zi)外曝光，深紫(zi)外曝光(Option)；
- 系統控制：手(shou)動、半自(zi)動和全自(zi)動控制；
- 曝光模(mo)(mo)(mo)式：真空接觸(chu)模(mo)(mo)(mo)式(接觸(chu)力可調),Proximity接近模(mo)(mo)(mo)式, 投影模(mo)(mo)(mo)式；
- 真空吸盤(pan)范圍可(ke)調；
- 專利技術：可雙面(mian)對準，可雙面(mian)光刻，具有IR和CCD模式
- 兩個CCD顯微鏡系統，最大放大1000倍，顯示屏直接調節，比傳統目鏡對準更方便快捷，易于操作。
- 特殊的基底卡盤(pan)可定(ding)做；
- 具有楔(xie)形(xing)補(bu)償(chang)功能；
技術參數：
- 基片尺寸：4、6、8、12、25英寸，其他尺寸可定制；
- 光束均勻性：<±3%；
- 曝光時間可調范圍：0.1 to 999.9秒；
- 對準精度：0.6-1微米
- 分辨率：1微米；
- 光束輸出強度：15-25mW/cm2；
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項目 |
技術規格 |
曝光系統(Exposure System)
MDA-400M型 |
光源功率 |
350W UV Exposure Light source with Power supply |
| 分辨率 |
- Vacuum Contact : 1um ( Thin PR@Si Wafer )
- Hard Contact : 1um
- Soft contact : 2um
- 20um Proximity: 5um |
| 最大光束尺寸 |
4.25×4.25 inch |
| 光束均勻性 |
≤ ±3% (4inch standard) |
| 光束強度 |
15~20mW/cm2 (365nm Intensity) |
| 曝光時間可調整 |
0.1 to 999.9 sec |
| 對準系統(Alignment System) |
對準精度 |
1um |
| 對準間隙 |
手動調節(數字顯示) |
| 光刻模式 |
真空, 硬接觸, 軟接觸，漸進（Proximity） |
| 卡盤水平調節 |
楔形錯誤補償Wedge Error Compensation |
| 真空卡盤移動 |
X, Y: 10 mm, Theta: ±5° |
| Z向移動范圍 |
10mm |
| 接近調整步幅 |
1um |
| 樣品(Sample) |
基底 Substrate |
2, 3, 4 inch |
| 掩模板尺寸 |
4 and 5 inch |
| Utilities |
真空 Vacuum |
< -200 mbar (系統包含真空泵) |
| 壓縮空氣 CDA |
> 5Kg/cm2 |
| 氮氣 N2 |
>3Kg/cm2 |
| 電源 Electricity |
220V, 15A, 1Phase |
顯微鏡及顯示器
CCD and Monitor |
Dual CCD zoom microscope and LCD (17inch) monitor; Magnification : 80x ~ 1000x; |
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